플라즈마 활용기술

표면 활성화 세정

  • 플라스틱 성형시 사용되는 이형제 와 유지류 제거 및 표면 활성화
  • 도장 전처리 (프라이머 공정 제거)
  • PCB, 리드프레임, 와이어 본딩, 패키징, 폴리머접착, 웨이퍼 및 광부품 제조의 세정, 접착공정
  • 인쇄 및 마킹 전처리

오존 생성

  • 코로나 및 유전체 방전 기술을 이용한 오존 제조
  • 상수, 오수, 폐수처리, 분뇨처리, 지하수 탈취
  • 살균

유해 폐기물 제거

  • 자동차, 공장, 화력발전소, 소각로등의 연소과정에서 발생하는 Nox, Sox, CH4, VOC 제거
  • 폐놀, 다이옥신, 솔벤트 및 중금속등의 각종 독극물 제거
  • 우라늄 폐기물을 저준위 방사성 폐기물로 전환

박막합성 / 표면개질

  • GaN, SiO2, TiO2등 박막제조

소독과 살균

  • 박테리아를 포함한 유해 미생물 살균
  • 음식물, 약품, 토양등의 환경분야, 의료기구 및 병원 폐기물

기술분야

  • 물성 DB
  • 진단
  • 전산 시뮬레이션

플라즈마 환경/의료기술

  • 암치료기
  • 농축산업
  • 오염 토양 복원
  • 멸균기
  • 폐기물 처리 산업
  • 배기가스 처리장치
  • 수처리 산업

플라즈마 우주항공기술

  • 우주항공산업
  • 우주항공소재산업

플라즈마 가공성형기술

  • 디스플레이
  • 반도체
  • 기계재료
  • 자동차부품
  • 고분자 필름
  • 태양전지
  • MEMS

플라즈마 기초연구

  • 물질상호작용
  • 다중이온기술
  • 우주플라즈마

플라즈마 광원기술

  • LED 광원
  • 반도체
  • 광 산업
  • 고출력 레이저

플라즈마 에너지 기술

  • 태양전지
  • 핵융합
  • 수소에너지
  • 석탄 가스화

구분 장점 단점 비고
DBD
  • 균일성
  • 대면적 가능
  • 전도성 물질에 Streamer 발생
  • 플라즈마 밀도가 약함
가장 보편적으로 사옹 됨
Pin 저항체
  • 비교적 균일성
  • DC Power Supply 사용
  • 대면적 가능
  • 고밀도 가능
  • 저항체에 의한 에너지 손실이 아주큼
  • 제작 어려움
DC Power Supply 제작 용이/가격 저렴
RF
  • 균일성
  • 대면적 가능
  • 유전체 필요
  • Igniter 필요
  • 에너지 손실 큼
  • 대출력 Power Supply 제작 어려움 및 고가
플라즈마 토치 등 활용
Micro-wave
  • 구조 단순
  • 대면적 가능성 있음
  • Power Supply 가격 저렴화 가능성 있음
  • 작동 간편
  • Igniter 필요
  • Waveguide 필요
  • Power Generator 수명 약 6,000 시간
  • 대출력 Power 필요
  • 전자기파 위험성 큼
연구단계
Capillary
  • 절연성 시편에서 DBD 타입에 비해 50~90배 밀도
  • 전도성 시편에서 약 5배 밀도
  • 대면적 가능
  • 제작 쉽지 않음
  • 전도성 시편에서 균일성 급격히 나쁨
  • Capillary 안에서 에너지 손실 큼
아직 상용화 되지 않음
금속 전극
  • 모든 시편에서 100배 이상의 고밀도
  • 대면적 가능
  • 에너지 손실 최소화
  • 제작 용이
  • 균일성 확보
  • 반영구적 구조
  • Power Supply 가격 저렴
독점적인 기술력 확보(재 재국내특허 출원 및 획득)